優(yōu)點(diǎn):
● 提高溫度測(cè)量準(zhǔn)確性
● 提高晶圓間的均勻性
● 提供性價(jià)比更高的熱電偶類測(cè)量替代方案
● 提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力
特點(diǎn):
● 緊湊的單通道設(shè)計(jì)
● 原位、非接觸式溫度測(cè)量
● 支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口,溫度讀取速率高達(dá)20次/秒
● 提高低溫測(cè)量的性能
優(yōu)點(diǎn):
● 提高溫度測(cè)量準(zhǔn)確性
● 提高晶圓間的均勻性
● 提供性價(jià)比更高的熱電偶類測(cè)量替代方案
● 提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力
特點(diǎn):
● 緊湊的單通道設(shè)計(jì)
● 原位、非接觸式溫度測(cè)量
● 支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口,溫度讀取速率高達(dá)20次/秒
● 提高低溫測(cè)量的性能
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