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60年紅外測溫專家

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Sekidenko OR400M 高溫計

Advanced Energy ?的 OR400M光學高溫計將Sekidenko產品系列的應用范圍擴展至3.3μm–5.2μm的中紅外波長范圍。 OR400M可進行單通溫度測量,用于半導體設備的高精密溫度測量,用于硅片,腔室的精確測溫。OR400M支持RS-232和模擬數據接口。OR400M設計緊湊,易于集成,可滿足許多工藝應用的獨特要求。

產品描述技術規格

優點:

● 溫度范圍為50℃至1300℃

● 讀取速率高達250Hz

● 單通道配置可選/固定發射率

● 適用于半導體外延,太陽能薄膜和玻璃類工藝

● 高速、固態檢測器

● 可配置的過濾器、檢測器和光學傳輸系統

● RS-232連接模式

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